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四探針電阻率測試儀

簡要描述:v應用:半導體材料、太陽能電池材料(硅、多晶硅、碳化硅等)

基礎信息

產品型號

廠商性質

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更新時間

2024-10-22

瀏覽次數

313
詳細介紹

v 應用:半導體材料、太陽能電池材料(硅、多晶硅、碳化硅等),新材料、功能材料(碳納米管、DLC、石墨烯、Ag納米線等)、導電薄膜(金屬、離子等),擴散層,硅相關外延材料,離子注入樣品

v 樣品尺寸:基于所選擇的平臺而定,圓形樣品支持300mm(12 inch),或方形尺寸730x920mm

v 測量范圍:

? V/I 電阻: 1.0m - 3.0M Ω

? 方阻: 5.0m - 10.0M Ω/sq

? 電阻率: 1.0μ - 300.0k Ω.cm




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