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低壓化學氣相沉積系統LPCVD

簡要描述:v滿足石墨烯和碳納米管研究的高溫和快速冷卻要求v直徑200毫米的石英室v內部石英管的設計便于拆卸和清洗v基片尺寸可達直徑150毫米v三區電阻爐

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更新時間

2024-10-22

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詳細介紹

v 滿足石墨烯和碳納米管研究的高溫和快速冷卻要求

v 直徑200毫米的石英室

v 內部石英管的設計便于拆卸和清洗

v 基片尺寸可達直徑150毫米

v 三區電阻爐,150毫米的均勻溫度區

v 溫度可達1000°C

v 使用節流型VAT蝶形閥下游壓力控制在50 mTorr500 mTorr之間

v 88立方英尺/分的Ebara ESA25-D干式真空泵 - 兩級干式真空


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